工作原理
先由轉動真空泵把系統(tǒng)抽到10-2帕擴散泵油被加熱沸騰，以高速從噴出的油蒸汽流不斷將系統(tǒng)內氣體分子帶到泵的側臂彎管球泡處集結，待氣體密度達到機械真空泵的工作范圍而被抽出，從而逐漸獲得高真空。
水環(huán)式真空泵/液環(huán)真空泵工作原理
水環(huán)式真空泵（簡稱水環(huán)泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000-4000帕，串聯(lián)大氣噴射器可達270-670帕。水環(huán)泵也可用作壓縮機，稱為水環(huán)式壓縮機，是屬于低壓的壓縮機，其壓力范圍為1-2X105帕表壓力。
水環(huán)真空泵初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環(huán)泵得到廣泛的應用。由于真空應用技術的飛躍發(fā)展，水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環(huán)泵應用日益增多。
泵體中裝有適量的水作為工作液。當葉輪按圖中順時針方向旋轉時，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內表面恰好與葉輪輪轂相切，水環(huán)的上部內表面剛好與葉片頂端（實際上葉片在水環(huán)內有定的插入深度）。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部零為起點，那么葉輪在旋轉前180度時，小腔面積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時氣體被吸入，當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕；當葉輪繼續(xù)旋轉時，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當小腔與排氣口相通時，氣體便被排出泵外。
綜上所述，水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變容式真空泵。
羅茨泵的工作原理：
羅茨泵泵腔內，有二個“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間，轉子與泵殼內壁之間，保持有一家的間隙，可以實現(xiàn)高轉速運行。由于羅茨泵串聯(lián)使用。
羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間內，再經排氣口排出。由于吸氣后的VO空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。
但當轉子頂部轉過排氣口邊緣，VO空間與排氣側相通時，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間VO中去，使氣體壓強突然增高。當轉子繼續(xù)轉動時，氣體排出泵外。
旋片式真空泵工作原理
旋片式真空泵（簡稱旋片泵）是一種油封式機械真空泵。其工作壓強范圍為101325-1.33X10-2（帕）屬于低于真空泵。它可以單獨使用，也可以作為其它高真空泵或*高真空泵的前級泵。它已廣泛地應用于冶金、機械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產和科研部門。
旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮(zhèn)裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學反應以及含有顆粒塵埃的氣體。
旋片泵是真空技術中基本的真空獲得設備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級和雙吸兩種。所謂雙級，就是在結構上將兩個單級泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。
旋片泵抽速與入口壓強的關系規(guī)定如下：在入口壓強為1333帕、1.33帕和1.33X10-1?。ㄅ粒┫?，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。
